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DYC-SP 为立式双门、四靶位、双扩散系统真空镀膜机，本机腔体直径为 1.8M， 腔体高度为 1.85M，广泛应用于通讯设备、计算机、消费型电子产品、电器、机械及塑料等领域，适合各种生产规模的客户使用。
DYC-SP 系列提供多靶位安装配置的解决方案，将有助于提高镀膜均匀性及实现多层薄膜制程。
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型号 |
DYC-1800-SP |
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排气系统 |
单排双扩散 |
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腔体直径(mm) |
1800 |
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腔体高度(mm) |
1850 |
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自转轴数 |
一门 6/8 轴 |
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有效镀膜直径(mm) |
500/430 |
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有效镀膜高度(mm) |
1350 |
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镀膜方式 |
溅镀 PVD |
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极限真空(Torr) |
5x10-6Torr |
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抽气效率 |
2x10-5Torr ≦ 8min |
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需求电源(kVA) |
3 相电源 380V 150kVA |
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※原厂标凖设定只供参考，任何配置，其设置将有所不同。 |
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(1)多溅镀靶靶位设计：可调整靶位位置使用，提高镀膜均匀性，并可放置不同 靶材，实现多层薄膜制程。
(2)优化排气系统：缩短管路长度，搭配知名厂牌 Pump 达到最佳排气效果。
(3)排气效率提升：双扩散排气系统设计，有效缩短排气时间。
(4)触控计算机 IPC：可储存较复杂的制程参数及历史纪录，并能执行网络远程控制， Trouble Shooting 零时差。