有鉴于全球汽车市场蓬勃发展及全球环境保护趋势,大永真空以节能减碳的概念为出发点,推出了结合PVD及PECVD技术的新制程之DYPE-经济型炉内涂布真空镀膜机。其半制程是在有底涂的基材上蒸镀上一层铝(传统的PVD制程)接着将monomer(化学聚合物)导入气体,透过电浆Plasma,让它产生裂解与聚合,把不需要的成份透过pump排出,留下的则形成结构致密的保护层,此膜层具有高阻隔性(耐热耐酸碱)及亲/疏水性(PECVD制程)。此皆是在同一个真空腔体中分别执行PVD及PECVD的镀膜制程。
传统镀膜制程主要有大气喷涂底漆、真空镀膜及大气喷涂面漆,造成良率低、制程时间长、环境污染、耗能及耗费漆料等问题,而大永真空研发的PVD及PECVD制程,则可将「真空镀膜及面漆结合」(半制程)或是将「底漆、真空镀膜及面漆」(全制程)结合在同一真空腔体中完成,可避免传统制程所会有的问题。新一代的DYPE系列设计中,除了延续DYC系列超高品质外,更加入了Base/Top Coating(基地/面漆)的功能;彻底免除了镀膜前后所需的表面喷涂制程,大大提高生产效率,同时避免了大量喷涂所造成的污染与浪费。
DYPE系列规格
型号 |
DYPE-1300 |
DYPE-1600 |
DYPE-1800 |
腔体直径 |
1300mm(ø) |
1600mm(ø) |
1800mm(ø) |
腔体高度 |
1850mm(H) |
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自转轴数 |
一门6轴 |
一门6/8轴 |
一门6/8轴 |
有效镀膜直径 |
350mm |
480/400mm |
560/460mm |
有效镀膜高度 |
1500mm(H) |
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镀膜方式 |
蒸镀PVD |
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蒸镀源数量 |
18 ~ 28 支 |
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蒸镀电源功率(kW) |
30kW |
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电浆聚合 |
MF PECVD Process |
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极限真空(Torr) |
5 x 10-6 Torr |
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制程周期 |
≦18分/周期 |
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需求电源 |
3相电源 380V 110kVA |
3D图
- 设计PECVD双反应区:提高Monomer解离率及提升膜厚均匀度,并缩短制程时间。
- 最佳化排气系统:缩短管路长度,搭配知名厂牌Pump达到最佳排气效果。
- 无暴露于真空环境中之阀杆:免除污染物附着于阀杆表面,降低腔体漏气之机会。
- 触控电脑IPC:可储存较复杂的制程参数及历史纪录,并能执行网路远端控制,Trouble Shooting零时差。
环境模拟测试