分类: 功能性镀膜
抗指紋膜為表面具有自潔功能(self-cleaning)、具疏水疏油效果(Hydrophobic/Oleo phobic)且抗汙耐刮的薄膜,廣泛應用於面板、手機屏幕等。早期抗指紋沾附技術多是使用PFOS(全氟鋅磺酸)和PFOA(全氟鋅酸)塗佈,可應用於紡織品、地毯、鞋材等製造領域,但由於含鹵材料具危害性,因此國際組織都已制定相關無鹵規範限制使用。爾後各家大廠紛紛研製環保噴塗材料,但製程工藝方面仍以噴塗或浸潤藥劑後再以烘烤或UV固化,鍍膜過程中藥劑耗量大且步驟繁瑣。
大永真空採用真空塗佈工藝,可有效節省藥劑使用且鍍膜後無需烘烤或UV固化,鍍膜後成品可耐綱絲絨磨耗8000次,玻璃基材鍍膜後硬度達7H以上,動摩擦係數≤0.03。
适用基质 | 塑料、树脂、玻璃 |
涂层技术 | 电阻式蒸镀 |
涂层材料 | 环保材料 |
耐久性 | 永久性 |
膜层钢丝绒耐磨耗 | >8000次 |
膜层动磨擦系数 | ≤0.03 |
加工后硬度 | 依素材(玻璃素材>7H) |
环境污染 | 低 |
腔室材质 | SUS304 |
操作系统 | IPC+PLC 自动、手动控制。 |
抽气速率 |
常温常压下,洁净、干燥且无素材的腔体, 从大气抽至3 x 10-4 Torr ≦ 5分钟。 |
腔体直径 | 1800mm |
腔体高度 | 1850mm |
自转轴数 | ~6/8 |
有效镀膜直径 | ~ 560/460mm |
有效镀膜高度 | ~ 1500mm |
镀膜方式 | 电阻式蒸镀 |
蒸镀源数量 | 18 ~28 pcs |
蒸镀电源功率(kW) | 30kW |
制程周期 | ≤20mins |
制程气体需求 |
Ar:纯度99.99% O2:纯度99.99% |
- 设计PECVD双反应区:提高Monomer解离率及提升膜厚均匀度,并缩短制程时间。
- 最佳化排气系统:缩短管路长度,搭配知名厂牌Pump达到最佳排气效果。
- 无暴露于真空环境中之阀杆:免除污染物附着于阀杆表面,降低腔体漏气之机会。
- 完整的制程参数及历史纪录,便于使用者捞取历史资料及分析。
- 双语介面,图像式操作,易于使用。
- 独立安全回路电源,多组急停开关设置,提升人员操作安全性。