分类: 金属镀膜
高功率脉冲磁控溅镀系统(HiPIMS,High Power Impulse Magnetron Sputtering) 是一种以高功率脉冲电源进行磁控溅镀的技术,透过产生比传统直流溅镀模式要高上数十倍之瞬间脉冲电流,得到比直流溅镀要高上百倍至万倍的高电子密度电浆 ,而此HIPIMS镀膜系统可有效提高被溅射粒子的离化率,并可在低基材温度下得到无孔隙、致密度高、结晶性佳的薄膜。
产品名称 | DYAC-PVD 高真空離子镀膜机 |
產品型號 | DYAC-1200-HLS |
适用基质 | 金属、陶瓷、硅、玻璃、塑料 |
涂层技术 | HiPIMS高功率脉冲磁控溅镀 |
涂层材料 | 依制程而定 |
涂层颜色 | 依制程而定 |
腔室材质 | 不锈钢SUS304 |
操作系统 | IPC & PLC |
腔体直径 | Ø1200mm |
腔体高度 | H1200mm |
自转轴数 | 6~12轴(依制程而定) |
有效镀膜直径 | Ø960mm |
有效镀膜高度 | H850mm |
镀膜方式 | HiPIMS高功率脉冲磁控溅镀与阴极电弧镀 |
溅镀源数量 | 6支 |
溅镀电源功率(kW) | 20kW |
极限真空(Torr) | 5*10E-6 Torr |
制程周期 | 依制程而定 |
需求电源 | 3 Phase/380V/170kW/50-60Hz |
(1) 全自动化控制(IPC & PLC),复合式多层膜镀膜系统。
(2) 可选用多种镀膜方式(阴极电弧、磁控溅镀、离子源、HiPIMS)满足各种膜层沉积需求。
(3) 低置式腔体搭配行星式公自转机构,适合各种尺寸工件大批量镀膜生产。
(4) 符合欧盟CE安全标准与技术规范(选配)。
(5) PVD涂层特性:
• 高耐磨性
• 高工作温度下维持高硬度
• 高抗氧化性
• 低摩擦系数
• 抗沾粘
• 耐刮伤
• 各种表面颜色